検査装置の製品一覧

半導体の材料、製造プロセス品質、プロセス処理の成果を検査、測定、評価する装置

M-600/6000シリーズ(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)

株式会社日立ハイテク

コンダクターエッチング装置 M-600/6000シリーズは、デジタルモバイル機器、白物家電製品、自動車、鉄道などに用いられるパワー半導体のシリコ…

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ENDURA ALPSR PVD (ALPS CO & NI)

Applied Materials,Inc

高アスペクト比のゲートやコンタクトアプリケーション向けに、シンプルかつ高性能なシリサイドソリューションを提供します。

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AdvancedAce-300

Kokusai Electric株式会社

高生産性縦型装置

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TSURUGI-C2 剱

Kokusai Electric株式会社

次世代デバイス、特に3次元(立体構造)デバイスに向けた成膜品質向上の市場ニーズにこたえる高品質成膜・高性能半導体製造装置

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「ABICS E120」

レーザーテック株式会社

EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置

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「ACTIS A150」

レーザーテック株式会社

アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置

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新型高速レビューSEM「CR7300」(MEMS展、SEMICON Japan 2020 Virtual出展)

株式会社日立ハイテク

新設計の電子光学系を搭載したことで従来よりも高解像な撮像が可能となり、またステージ制御の改良によってSEM画像撮像までの時間を短縮すること…

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欠陥形状評価SEM 「CT1000」(MEMS展,SEMICON Japan 2020 Virtual 出展)

株式会社日立ハイテク

、8インチ(直径200mm)以下のウェーハ上のパターン形状や製造工程中に発生する欠陥の三次元観察を可能とし、観察対象の構成元素推定機能を搭載…

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PMR-3000

日本セミラボ株式会社

非破壊インプラモニター

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RE-3500

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

loT向け電子デバイスに対応したエリプソ式膜厚測定装置

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