検査装置の製品一覧
半導体の材料、製造プロセス品質、プロセス処理の成果を検査、測定、評価する装置
TANDUO（SEMICON Japan 2020 Virtual出展）
プロセスに応じたモジュール選択により、キュア、アニール、デガス等に合わせた最適なシステムを提供する事ができます。
詳細を確認する
新型高速レビューSEM「CR7300」（MEMS展、SEMICON Japan 2020 Virtual出展）
新設計の電子光学系を搭載したことで従来よりも高解像な撮像が可能となり、またステージ制御の改良によってSEM画像撮像までの時間を短縮すること…
詳細を確認する
欠陥形状評価SEM 「CT1000」（MEMS展,SEMICON Japan 2020 Virtual 出展）
、8インチ（直径200mm）以下のウェーハ上のパターン形状や製造工程中に発生する欠陥の三次元観察を可能とし、観察対象の構成元素推定機能を搭載…
詳細を確認する
関連用語
関連特集
「検査装置」の関連企業一覧
キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
