検査装置の製品一覧
CENTURA ULTIMA HDP-CVD
Applied Materials,Inc
数世代にわたって実用性が証明された、業界をリードするCVD装置
F-REX型
株式会社荏原製作所
本装置はウェーハ表面を化学的機械的に研磨するクリーンルーム設置型のCMP装置です。市場で証明された高い信頼性と優れたプロセス性能を有する本…
UFP型
本装置は、半導体ウェーハにバンプ、再配線、ビア等の微細パターンを形成させるクリーンルーム設置型の電解めっき装置です。
VERTEXR Revolution/Ⅲ
Kokusai Electric株式会社
200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置
VM-2500/3500
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
国内No.1の販売実績を誇る多機能光干渉式膜厚測定装置
ウェーハ外観検査装置INSPECTRAシリーズ
東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー株式会社
半導体製造の前工程から後工程まで『ハイスピード』『ハイスペック』でウェーハの全数自動検査の要求にお応えします。
9000シリーズ
株式会社日立ハイテク
次世代デバイスプロセスに対応するため、コンダクターエッチング装置 9000シリーズでは、インターフェースを統一し、高精度にモジュール化した…
M-8000シリーズ
コンダクターエッチング装置 M-8000シリーズは、32nm世代以降のハードマスク、シリコン加工に対応したエッチング装置です。
E-600/8000シリーズ
不揮発性材料エッチング装置
E-6000シリーズ
磁気ヘッド用材料エッチング装置
関連用語
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「検査装置」の関連企業一覧
株式会社 荏原製作所
産業機械メーカである荏原は、Core Competenceを技術力と捉えています。製品のみならず、生産、品質管理や納入後の改造・メンテナンスまでのあら…
Kokusai Electric 株式会社
当社は、株式会社日立国際電気から独立して、新たにKKRファンドのもとで半導体製造装置事業の専門メーカーとして2018年6月1日より「株式会社KO…
株式会社 SCREENセミコンダクターソリューションズ
SCREENセミコンダクターソリューションズは、 エッチング、フォトリソグラフィ、画像処理を技術のコアとし、半導体洗浄プロセスにおいて世界の…
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