検査装置の製品一覧
半導体の材料、製造プロセス品質、プロセス処理の成果を検査、測定、評価する装置
CENTRIS SYM3エッチング装置
1x/10nmノード以降の大量生産用の重要なエッチングアプリケーションにおいて、世界トップクラスのウェーハ間の均一性を前例のないチップ内図形制…
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