半導体用語集
マスク自動チェンジャ
英語表記：mask auto changer
露光装置において、レチクルを複数枚保管し、必要なレチクルを自動的に露光位置へ搬送、交換する機構のこと。レチクルカセットを装填するレチクルカセット棚、レチクルを搬送するロボットアームからなり、必要に応じて、レチクルを識別するバーコードリーダ、レチクルへの付着物を検出するレチクル異物検査装置などが組み込まれる。露光装置には種々パターンを露光することが求められるので、レチクルの交換が必要になるのが、できるだけ人の手によるハンドリングを避けるために用いられる。一般的に装置外においてレチクルはカセットに入れた状態でハンドリングされる。マスク自動チェ納できるカセット棚ンジャはレチクルカセットを複数収を有し、そこにレチクルカセットが装着される。カセット棚のスロットには検出器が備えてあり、レチクルカセットの有無を検知する。また、レチクルカセットがカセット棚からはみ出していると、ロボットアームと千渉したり受け渡しに失敗したりするので飛び出し検出器も備えている。バーコードリーダがある場合はここでバーコードの読み取りを行い、レチクルの認識を行う。カセットは自動的に蓋が開閉できるような仕組みになっており、レチクルはロボットアームによりカセットから取り出され、レチクルステージ上のレチクルホルダへと受け渡される。レチクル異物検査を行う場合にはカセットからレチクルが取り出された後、ロボットアームによってレチクル異物検査装置へ搬送する。検査終了後、問題がなければ検査装置からレチクルを取り出しレチクルステージ上のレチクルホルダへ受け渡しを行う。
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