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エンジニアリングサービス市場（2）　サービス企業の動向

　半導体製造装置に対する、メンテナンスや修理、改造といったエンジニアリングサービスの担い手は、装置を製造した装置メーカー(関連会社、子会社含む）、装置メーカー以外のエンジニアリングサービス企業（以下サードパーティ）に分けられる。サードパーティについては、装置ユーザである半導体企業からの委託を中心とする企業と装置メーカの協力企業として活動している企業がある。
　前回は製造装置メーカのポストセールス事業について状況をまとめたが、今回はサードパーティ企業の動向について、地域ごとにまとめていく。

1.日本企業

　大手製造装置メーカ（OEM）の協力企業、大手製造装置メーカから認定企業とされているが対象企業以外の企業の製品に対するサポートを行っている有力企業、特定分野の装置で実績のある企業、半導体工場の保守やエンジニアリングサービスを請け負っている地場企業など、業態は様々である。
　国内では最先端プロセスの製造ラインが減少、またラインへの投資額、運用コストに対しての抑制圧力も強くなっている。このため、半導体メーカによる自前保全の比率が高まり、外部に委託する場合でも対象は地場を含むサードパーティの比率が高まっている。このため、OEM企業や有力企業に対してサービスを委託する場合、より重大で、深刻なものとなっている。
　しかし、有力なサードバーティでも、売上高は数十億円規模であり、製造装置のエンジニアリングサポート事業に限定すれば、売上高は多くても60％程度と見込まれる。
　以下に、有力企業の動向を示す。

　◎大村技研／ING（アイエヌジー）
　Lam Researchの認定企業となっているほか、Applied Materials（AMAT）社装置のアフターサービスでも実績を残している。対象はこれら大手メーカの中古装置が中心。 装置の据付、立ち上げ（ハードウェア立ち上げ・プロセス立ち上げ）といった装置設置対応や、 定期点検・不具合調査・修理対応、装置改善改造などのエンジニアリングサポートを行っている。