検査装置の製品一覧
NOKOTA ECD
Applied Materials,Inc
高生産性ウェーハレベルパッケージ用めっき装置
DI2800
株式会社日立ハイテク
2022年発売。検出時間40枚/時間と高速検査が可能
DI4200
パターン付きウエハの異物欠陥を高感度・高速でモニタリングすることが可能な欠陥検査装置。
GALOIS(ガロワ)
レーザーテック株式会社
GaNウェハの各種欠陥をより高速に検出し、高い解像度で欠陥の観察が可能
SICA88
コンフォーカルDIC光学系による表面検査とPL検査を1台に搭載
Surfscan SP7xp
KLA Corporation
先端プロセスにも対応した12.5nmサイズのパーティクルが捕捉可能な欠陥検査装置
FOUP/FOSB寸法測定装置
株式会社清和光学製作所
FOSB寸法測定装置 ”セルフィ―”発売
アクティブ除振ユニット【空圧制御】A type
倉敷化工株式会社
アクティブ制御とジンバルピストン機構により全周波数帯での優れた除振性能を発揮します。
ウエハー3D検査シリーズ
多種3D検査装置を提案します。
ボンディングWaferズレ検査装置
【概要】 両面パターン、貼り合せウェハのパターンズレを測定・検査を行います。 表-裏面、表-表面、表-界面等非破壊で観察できます。 また、…
関連用語
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「検査装置」の関連企業一覧
株式会社 荏原製作所
産業機械メーカである荏原は、Core Competenceを技術力と捉えています。製品のみならず、生産、品質管理や納入後の改造・メンテナンスまでのあら…
Kokusai Electric 株式会社
当社は、株式会社日立国際電気から独立して、新たにKKRファンドのもとで半導体製造装置事業の専門メーカーとして2018年6月1日より「株式会社KO…
株式会社 SCREENセミコンダクターソリューションズ
SCREENセミコンダクターソリューションズは、 エッチング、フォトリソグラフィ、画像処理を技術のコアとし、半導体洗浄プロセスにおいて世界の…
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