検査装置の製品一覧

半導体の材料、製造プロセス品質、プロセス処理の成果を検査、測定、評価する装置

NOKOTA ECD

Applied Materials,Inc

高生産性ウェーハレベルパッケージ用めっき装置

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DI2800

株式会社日立ハイテク

2022年発売。検出時間40枚/時間と高速検査が可能

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DI4200

株式会社日立ハイテク

パターン付きウエハの異物欠陥を高感度・高速でモニタリングすることが可能な欠陥検査装置。

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GALOIS(ガロワ)

レーザーテック株式会社

GaNウェハの各種欠陥をより高速に検出し、高い解像度で欠陥の観察が可能

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SICA88

レーザーテック株式会社

コンフォーカルDIC光学系による表面検査とPL検査を1台に搭載

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Surfscan SP7xp

KLA Corporation

先端プロセスにも対応した12.5nmサイズのパーティクルが捕捉可能な欠陥検査装置

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FOUP/FOSB寸法測定装置

株式会社清和光学製作所

FOSB寸法測定装置 ”セルフィ―”発売

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アクティブ除振ユニット【空圧制御】A type

倉敷化工株式会社

アクティブ制御とジンバルピストン機構により全周波数帯での優れた除振性能を発揮します。

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ウエハー3D検査シリーズ

株式会社清和光学製作所

多種3D検査装置を提案します。

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ボンディングWaferズレ検査装置

株式会社清和光学製作所

【概要】 両面パターン、貼り合せウェハのパターンズレを測定・検査を行います。 表-裏面、表-表面、表-界面等非破壊で観察できます。 また、…

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