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SICA88

レーザーテック株式会社
最終更新日: 2022年11月28日

コンフォーカルDIC光学系による表面検査とPL検査を1台に搭載

表面欠陥と同時にエピ膜付きウエハ内部の底面内転位、積層欠陥

基本情報

検出方式:コンフォーカル(共焦点光学系)及び微分干渉
(内部欠陥検査は蛍光測定)
対応ウエハサイズ:4インチ、6インチ、8インチ
検査時間:10枚/時間

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取扱企業

レーザーテック株式会社

業種:試験・分析・測定  所在地:神奈川県 横浜市港北区新横浜 2-10-1

EUVマスク用欠陥検査装置で市場を独占

マスク/レチクル欠陥検査装置で世界的に実績を残している。特にEUV光源を利用することで微細なパターンを高速に測定できるようにしたEUVマスク用欠陥検査装置は独占的な地位を占めている(2021年)。現在は生産能力強化に力を入れている。

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