ステージ(リニアモータ)の製品一覧

ウェーハなどの加工対象が置かれ、高精度の移動、位置合わせのほか、除震などの機能も持つ。

CMXシリーズ

THK株式会社

画期的な駆動モジュール構造を採用した、超薄型の精密アライメントステージ

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A/AXシリーズ

THK株式会社

高精度でバリエーションが豊富 さまざまな用途に対応可能な精密ステージ データダウンロード

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サーフェイス型エアスライダステージ

株式会社モーショントラスト

超精密モデル(用途:半導体用小ストローク検査装置向け)

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SA/SL Series

住友重機械工業株式会社

露光・高精度検査装置用XYステージ

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CA-230

住友重機械工業株式会社

真空エアサーボステージ

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