半導体製造装置関連部品の製品一覧
UTM-MIシリーズ
株式会社アルバック
磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。
LR/HR/UR シリーズ
ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、エッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現し…
CRシリーズVerB
ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格（CE,cTUVus）を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。排気室内には油を使用しておらず、…
UTM300
セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。優れた高背圧特性により補…
UTM70B
セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプ
UTM-FH/FWシリーズ
デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・…
SEC-N100シリーズ
株式会社堀場エステック
汎用モデルデジタルマスフローコントローラ
MagnaTranR 7 BiSymmetrik (MAG 7 B)
Brooks Automation Inc.
真空クラスタ ツールのハイ スループット アプリケーション向け搬送ロボット
MagnaTranR 7 Frogleg (MAG 7 F)
真空クラスタ ツール アプリケーション向けウェーハ搬送ロボット
MagnaTran 7 Leapfrog (MAG 7 X)
真空クラスタ ツールでスループットのきわめて高いアプリケーション向けのデュアル アーム同側ウエハー搬送ロボット
関連用語
関連特集
「半導体製造装置関連部品」の関連企業一覧
株式会社 堀場エステック
堀場エステックは、半導体や液晶製造分野で欠くことのできない流体制御機器「マスフローコントローラ」で世界トップシェアを維持して成長し続け…
ケーエスエス 株式会社
小型化するなら、ケーエスエス。 弊社はミニチュアボールねじを専門に製造するメーカです。シャフト軸外径がφ16mm以下のボールねじを専門に、世…
ローツェ 株式会社
1985年にステッピングモータの製造からスタートし、1986年末にはクリーンロボット（大気ロボット）、1988年9月には真空ロボットを発表した。国内…
関連企業一覧
キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
SNS
特集
お知らせ
