製品で絞り込む

半導体製造装置関連部品の製品一覧

半導体製造装置を構成する部品、モジュール、ユニットおよび消耗品

耐紫外線光ファイバアセンブリ製品(バンドルファイバ、レーザ伝送用光ファイバ)
三菱電線工業 株式会社

注目

深紫外光伝送可能な石英系光ファイバを適用 ご用途に合わせたアセンブリ製品をご提案いたします。

詳細を確認する

サーマルフロースプリッタ FS-3000 Series
株式会社 堀場エステック

半導体、ディスプレイ、太陽電池などの製造プロセスにて、チャンバに導入するプロセスガスを、任意の比率に分配するフロースプリッタです。

詳細を確認する

超薄型マスフローモジュール CRITERION DZ-100 Series
株式会社 堀場エステック

差圧検出方式を採用した10mm幅の最先端プロセス向け高性能マスフロー モジュールです。±0.5% S.P. の高精度と応答速度0.4秒以内を実現していま…

詳細を確認する

差圧検出方式を採用した最先端プロセス向け高性能マスフローモジュール

詳細を確認する

信頼性のあるサーマル方式の流量センサーを搭載したマスフローモジュール

詳細を確認する

ユーザーサイドでガス種・流量レンジの変更ができるマルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル…

詳細を確認する

SEC-8000F/D/Eシリーズ
株式会社 堀場エステック

高温環境(120℃)までの環境で使用できる高温対応デジタルマスフローコントローラです。

詳細を確認する

E84 Sensor(PIO : Parallel Input/Output)
Cantops Co,.Ltd

安全性が高く、RFおよびIR通信媒体選択が可能で、ノイズ影響に対する耐性に優れた製品

詳細を確認する

汎用モデルデジタルマスフローコントローラ

詳細を確認する

EFEM用に開発した低価格、高性能な搬送ロボット。高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデル。

詳細を確認する
全 49 件中 1 ~10 件を表示中
表示件数: