半導体製造装置関連部品の製品一覧

半導体製造装置を構成する部品、モジュール、ユニットおよび消耗品

真空環境におけるアウトガス分析
株式会社住化分析センター

『真空環境下で材料から発生するアウトガスを定性・定量』

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半導体材料の溶出試験
株式会社住化分析センター

『半導体材料の清浄度評価のための溶出試験』

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半導体製造向け精密チラー RJ-SA型
株式会社荏原製作所

小型かつ高出力で、サブファブスペースを効率的に利用可能なチラー

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超高真空対応スカラアーム・ロボット

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高速搬送が可能なEFEM

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超高真空対応スカラアーム・ロボット

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2つのフロッグレッグアームを持つ真空ロボット

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超高真空対応、高精度・ハイスループットロボット

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全軸エンコーダ付きステッピングモータを搭載したスカラ型ロボット

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大気ロボット:高スループットと特徴とするロボット。ロングリーチバージョン

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