半導体用語集
静電チャック
英語表記：electrostatic clampless holder
ウェーハと表面に誘電体膜を有する試料台との間に電圧（通常は直流電圧）を印加することにより、ウェーハを試料台に静電的に吸着固定する手法で、エッチング処理中のウェーハ温度を高精度に制御することが出来る。又、機械的なウェーハ保持具（クランプ）を使用しないため、ウェーハ全面を均一にエッチング処理する事が可能となる。
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