半導体用語集
静電チャックサセプタ
英語表記：static electric chuck sucepter
試料台の上に誘電層を設け、試料台とウェハの間に電圧を印加し、両者の間に発生したクーロンカによってウェハを吸着する機構で、ウェハの保持および温度制御のために試料台、搬送系などに用いられる。静電チャックには、単極型と双極型の2種類がある。単極型は、静電チャック内部の電極とシリコンウェハとの間に電位差を与えるもので、シリコンウェハにアースを取る必要があるが、吸着カそのものは大きい。一方、双曲型は静電チャック内部の電極を二つ以上に分割し、それぞれに正または負の電圧を印加する。
シリコンウェハに電圧を印加する必要がなく、取り扱いは簡便である。
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