半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

クリックしてイメージを拡大

ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、エッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCKとのコンビネーションで最大約80%の消費電力カットが可能です。 また，メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE対応可能（オプション）としました。 ECO-SHOCKについての詳細は、関連情報からご覧になれます。

・LRシリーズ：低温領域で均熱化
　　不活性ガス排気に加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取り出し室の排気に最適
・HRシリーズ/URシリーズ：高温領域で均熱化
　　CVD、エッチング等で発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能
・1000msec以内の瞬停対策
・CE対応可能（オプション）
・用途
　　活性ガス（CVD、ドライエッチング等）
　　不活性ガス排気（スパッタリング,蒸着，熱処理等）
　　仕込み取り出し室の排気時間短縮（LRシリーズ）
　　粉体の発生するプロセスでの排気（Si単結晶引き上げ等）
　　補助排気ポンプとして（ターボ分子ポンプ、メカニカルブースタポンプの補助排気）

基本情報

①型名 LR/HR60
使用ポンプ DRP LR/HR60
　　MBP －
最大排気速度 m3/h 50Hz 62　60Hz 80
　　L/min 50Hz 1030　60Hz 1333
到達圧力 Pa 5
最大排気圧力（吸入圧力） 大気圧
最大排気口圧力（排出圧力） 1Pa～大気圧
吸気口（CE仕様） VG50
(KF40)
排気口 KF40
ドライポンプ表面処理 ○
メカニカルブースタポンプ表面処理 -
質量 kg 180
電力 三相 VAC 200（50/60), 220(60)
(Hz) 200（50/60), 220(60)
電流値 定常時 A 6.9/7.1
最大値 A 7.0/7.3
冷却水一次圧力 MPa 0.1 to 0.3
冷却水出入口差圧 MPa ＞0.1
冷却水流量 L/min ＞5.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1 ～ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ～ 0.1
N2パージ 軸 SLM 5
ガスバラ SLM 0～45

②型名 LR/HR90
使用ポンプ DRP LR/HR90
MBP －
最大排気速度 m3/h 50Hz 112
60Hz 126
L/min 50Hz 1860
60Hz 2100
到達圧力 Pa 5
最大排気圧力（吸入圧力） 大気圧
最大排気口圧力（排出圧力） 1Pa～大気圧
吸気口（CE仕様） VG80(KF50)
VG80(KF50)
排気口 KF40
ドライポンプ表面処理 ○
メカニカルブースタポンプ表面処理 -
質量 kg 245
電力 三相 VAC 200（50/60), 220(60)
(Hz) 200（50/60), 220(60)
電流値 定常時 A 11.2
最大値 A 11.8
冷却水一次圧力 MPa 0.1 to 0.3
冷却水出入口差圧 MPa ＞0.1
冷却水流量 L/min ＞5.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1 ～ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ～ 0.1
N2パージ 軸 SLM 5
ガスバラ SLM 0～45

③型名 LR180
使用ポンプ DRP LR180
MBP －
最大排気速度 m3/h 50Hz 183
60Hz 237
L/min 50Hz 3100
60Hz 3950
到達圧力 Pa 5
最大排気圧力（吸入圧力） 大気圧
最大排気口圧力（排出圧力） 1Pa～大気圧
吸気口（CE仕様） VG80(KF50)
VG80(KF50)
排気口 KF40
ドライポンプ表面処理 ○
メカニカルブースタポンプ表面処理 -
質量 kg 335
電力 三相 VAC 200（50/60), 220(60)
(Hz) 200（50/60), 220(60)
電流値 定常時 A 18.9
最大値 A 20.6
冷却水一次圧力 MPa 0.1 to 0.3
冷却水出入口差圧 MPa ＞0.1
冷却水流量 L/min ＞5.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1 ～ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ～ 0.1
N2パージ 軸 SLM 5
ガスバラ SLM 0～45

④型名 LR421
使用ポンプ DRP LR421
MBP －
最大排気速度 m3/h 50Hz 440
60Hz 440
L/min 50Hz 7333
60Hz 7333
到達圧力 Pa 5
最大排気圧力（吸入圧力） 大気圧
最大排気口圧力（排出圧力） 1Pa～大気圧
吸気口（CE仕様） VG100
VG100
排気口 VG50
ドライポンプ表面処理 ○
メカニカルブースタポンプ表面処理 -
質量 kg 415
電力 三相 VAC 180～240/380～440（50/60）
(Hz) 180～240/380～440（50/60）
電流値 定常時 A 20.8
最大値 A 48.5
冷却水一次圧力 MPa 0.2 to 0.5
冷却水出入口差圧 MPa ＞0.2
冷却水流量 L/min ＞4.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1 ～ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ～ 0.1
N2パージ 軸 SLM 5
ガスバラ SLM なし*1

⑤型名 LR421-T
使用ポンプ DRP LR421-T
MBP －
最大排気速度 m3/h 50Hz 440
60Hz 440
L/min 50Hz 7333
60Hz 7333
到達圧力 Pa 5
最大排気圧力（吸入圧力） 大気圧
最大排気口圧力（排出圧力） 1Pa～大気圧
吸気口（CE仕様） VG100
VG100
排気口 VG50
ドライポンプ表面処理 ○
メカニカルブースタポンプ表面処理 -
質量 kg 415
電力 三相 VAC 180～240/380～440（50/60）
(Hz) 180～240/380～440（50/60）
電流値 定常時 A 20.8
最大値 A 48.5
冷却水一次圧力 MPa 0.2 to 0.5
冷却水出入口差圧 MPa ＞0.2
冷却水流量 L/min ＞4.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1 ～ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ～ 0.1
N2パージ 軸 SLM 5
ガスバラ SLM 0～45


⑥型名 UR421-T
使用ポンプ DRP UR421-T
MBP －
最大排気速度 m3/h 50Hz 410
60Hz 410
L/min 50Hz 6833
60Hz 6833
到達圧力 Pa 5
最大排気圧力（吸入圧力） 大気圧
最大排気口圧力（排出圧力） 1Pa～大気圧
吸気口（CE仕様） VG100
VG100
排気口 VG50
ドライポンプ表面処理 ○
メカニカルブースタポンプ表面処理 -
質量 kg 415
電力 三相 VAC 180～240/380～440（50/60）
(Hz) 180～240/380～440（50/60）
電流値 定常時 A 23
最大値 A 52.5
冷却水一次圧力 MPa 0.2 to 0.5
冷却水出入口差圧 MPa ＞0.2
冷却水流量 L/min ＞5.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1 ～ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ～ 0.1
N2パージ 軸 SLM 5
ガスバラ SLM 0～195

⑦型名 LR/HR300
使用ポンプ DRP LR/HR300
MBP PRC-003A
最大排気速度 m3/h 50Hz 359
60Hz 365
L/min 50Hz 5980
60Hz 6080
到達圧力 Pa 0.67
最大排気圧力（吸入圧力） 大気圧
最大排気口圧力（排出圧力） 1Pa～大気圧
吸気口（CE仕様） VG80(KF80)
VG80(KF80)
排気口 KF40
ドライポンプ表面処理 ○
メカニカルブースタポンプ表面処理 ○ *
質量 kg 251
電力 三相 VAC 200（50/60), 220(60)
(Hz) 200（50/60), 220(60)
電流値 定常時 A 7.0/7.8
最大値 A 9.6/8.1
冷却水一次圧力 MPa 0.1 to 0.3
冷却水出入口差圧 MPa ＞0.1
冷却水流量 L/min ＞5.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1 ～ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ～ 0.1
N2パージ 軸 SLM 5
ガスバラ SLM 0～45


⑧型名 LR/HR600
使用ポンプ DRP LR/HR600
MBP PRC-006A
最大排気速度 m3/h 50Hz 653
60Hz 701
L/min 50Hz 10900
60Hz 11700
到達圧力 Pa 0.67
最大排気圧力（吸入圧力） 大気圧
最大排気口圧力（排出圧力） 1Pa～大気圧
吸気口（CE仕様） VG80(KF80)
VG80(KF80)
排気口 KF40
ドライポンプ表面処理 ○
メカニカルブースタポンプ表面処理 ○ *
質量 kg 371
電力 三相 VAC 200（50/60), 220(60)
(Hz) 200（50/60), 220(60)
電流値 定常時 A 12.3/12.9
最大値 A 19.0/13.8
冷却水一次圧力 MPa 0.1 to 0.3
冷却水出入口差圧 MPa ＞0.1
冷却水流量 L/min ＞5.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1 ～ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ～ 0.1
N2パージ 軸 SLM 5
ガスバラ SLM 0～45
　

⑨型名 UR600
使用ポンプ DRP UR600
MBP PRC-006A
最大排気速度 m3/h 50Hz 653
60Hz 701
L/min 50Hz 10883
60Hz 10883
到達圧力 Pa 0.67
最大排気圧力（吸入圧力） 大気圧
最大排気口圧力（排出圧力） 1Pa～大気圧
吸気口（CE仕様） VG80(KF80)
VG80(KF80)
排気口 KF40
ドライポンプ表面処理 ○
メカニカルブースタポンプ表面処理 ○
質量 kg 371
電力 三相 VAC 200（50/60), 220(60)
(Hz) 200（50/60), 220(60)
電流値 定常時 A 16.4
最大値 A 17.3
冷却水一次圧力 MPa 0.1 to 0.3
冷却水出入口差圧 MPa ＞0.1
冷却水流量 L/min ＞5.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1 ～ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ～ 0.1
N2パージ 軸 SLM 5
ガスバラ SLM 0～45

⑩型名 LR/HR1200
使用ポンプ DRP LR/HR1200
MBP PRC-012A
最大排気速度 m3/h 50Hz 1012
60Hz 1051
L/min 50Hz 16900
60Hz 17500
到達圧力 Pa 0.67
最大排気圧力（吸入圧力） 大気圧
最大排気口圧力（排出圧力） 1Pa～大気圧
吸気口（CE仕様） VG100(KF100)
VG100(KF100)
排気口 KF40
ドライポンプ表面処理 ○
メカニカルブースタポンプ表面処理 ○ *
質量 kg 403
電力 三相 VAC 200（50/60), 220(60)
(Hz) 200（50/60), 220(60)
電流値 定常時 A 13.7/15.4
最大値 A 24.2/18.9
冷却水一次圧力 MPa 0.1 to 0.3
冷却水出入口差圧 MPa ＞0.1
冷却水流量 L/min ＞5.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1 ～ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ～ 0.1
N2パージ 軸 SLM 5
ガスバラ SLM 0～45


⑪型名 UR1200
使用ポンプ DRP UR1200
MBP PRC-012A
最大排気速度 m3/h 50Hz 1012
60Hz 1051
L/min 50Hz 16867
60Hz 16867
到達圧力 Pa 0.67
最大排気圧力（吸入圧力） 大気圧
最大排気口圧力（排出圧力） 1Pa～大気圧
吸気口（CE仕様） VG100(KF100)
VG100(KF100)
排気口 KF40
ドライポンプ表面処理 ○
メカニカルブースタポンプ表面処理 ○
質量 kg 403
電力 三相 VAC 200（50/60), 220(60)
(Hz) 200（50/60), 220(60)
電流値 定常時 A 18.9
最大値 A 22.4
冷却水一次圧力 MPa 0.1 to 0.3
冷却水出入口差圧 MPa ＞0.1
冷却水流量 L/min ＞5.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1 ～ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ～ 0.1
N2パージ 軸 SLM 5
ガスバラ SLM 0～45


⑫型名 LR1800
使用ポンプ DRP LR180
MBP PRC-018A
最大排気速度 m3/h 50Hz 1701
60Hz 1784
L/min 50Hz 28350
60Hz 29700
到達圧力 Pa 0.67
最大排気圧力（吸入圧力） 大気圧 *
最大排気口圧力（排出圧力） 1Pa～大気圧
吸気口 * VG150(KF100)
排気口 KF40
ドライポンプ表面処理 ○
メカニカルブースタポンプ表面処理 ○ *
質量 kg 553
電力 三相 VAC(Hz) 200（50/60),220(60)
電流値 定常時 A 21.4
最大値 A 39.8
冷却水一次圧力 MPa 0.1 to 0.3
冷却水出入口差圧 MPa ＞0.1
冷却水流量 L/min ＞5.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1 ～ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ～ 0.1
N2パージ 軸 SLM 5
ガスバラ SLM 0～45


⑬型名 UR1800
使用ポンプ DRP UR180
MBP PRC-018A
最大排気速度 m3/h 50Hz 1701
60Hz 1701
L/min 50Hz 28350
60Hz 28350
到達圧力 Pa 0.67
最大排気圧力（吸入圧力） 大気圧 *
最大排気口圧力（排出圧力） 1Pa～大気圧
吸気口 * VG150
排気口 KF40
ドライポンプ表面処理 ○
メカニカルブースタポンプ表面処理 ○
質量 kg 553
電力 三相 VAC(Hz) 200（50/60),220(60)
電流値 定常時 A 29.2
最大値 A 34.9
冷却水一次圧力 MPa 0.1 to 0.3
冷却水出入口差圧 MPa ＞0.1
冷却水流量 L/min ＞5.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1 ～ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ～ 0.1
N2パージ 軸 SLM 5
ガスバラ SLM 0～195

⑭型名 LR3601
使用ポンプ DRP LR421
MBP PRC-036C
最大排気速度 m3/h 50Hz 3200
60Hz 3200
L/min 50Hz 53333
60Hz 53333
到達圧力 Pa 0.67
最大排気圧力（吸入圧力） 大気圧 *
最大排気口圧力（排出圧力） 1Pa～大気圧
吸気口 * VG150
排気口 KF50
ドライポンプ表面処理 ○
メカニカルブースタポンプ表面処理 ×
質量 kg 660
電力 三相 VAC(Hz) 180～240/380～440（50/60）
電流値 定常時 A 31
最大値 A 58.4
冷却水一次圧力 MPa 0.2 to 0.5
冷却水出入口差圧 MPa ＞0.2
冷却水流量 L/min ＞4.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1 ～ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ～ 0.1
N2パージ 軸 SLM 5
ガスバラ SLM なし*1


⑮型名 LR3601-TT
使用ポンプ DRP LR421-T
MBP PRC-036C(-T）
最大排気速度 m3/h 50Hz 3200
60Hz 3200
L/min 50Hz 53333
60Hz 53333
到達圧力 Pa 0.67
最大排気圧力（吸入圧力） 大気圧 *
最大排気口圧力（排出圧力） 1Pa～大気圧
吸気口 * VG150
排気口 KF50
ドライポンプ表面処理 ○
メカニカルブースタポンプ表面処理 T：×　TT：○
質量 kg 720
電力 三相 VAC(Hz) 180～240/380～440（50/60）
電流値 定常時 A 31
最大値 A 58.4
冷却水一次圧力 MPa 0.2 to 0.5
冷却水出入口差圧 MPa ＞0.2
冷却水流量 L/min ＞4.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1 ～ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ～ 0.1
N2パージ 軸 SLM 5
ガスバラ SLM 0～45


⑯型名 LR3601-R
使用ポンプ DRP LR421
MBP PRC-036D
最大排気速度 m3/h 50Hz 3200
60Hz 3200
L/min 50Hz 53333
60Hz 53333
到達圧力 Pa 0.67
最大排気圧力（吸入圧力） 大気圧 *
最大排気口圧力（排出圧力） 1Pa～大気圧
吸気口 * VG150
排気口 KF50
ドライポンプ表面処理 ○
メカニカルブースタポンプ表面処理 ×
質量 kg 660
電力 三相 VAC(Hz) 180～240/380～440（50/60）
電流値 定常時 A 35.4
最大値 A 82
冷却水一次圧力 MPa 0.2 to 0.5
冷却水出入口差圧 MPa ＞0.2
冷却水流量 L/min ＞4.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1 ～ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ～ 0.1
N2パージ 軸 SLM 5
ガスバラ SLM なし

⑰型名 LR3601-TR(TTR)
使用ポンプ DRP LR421-T
MBP PRC-036D（D-T）
最大排気速度 m3/h 50Hz 3200
60Hz 3200
L/min 50Hz 53333
60Hz 53333
到達圧力 Pa 0.67
最大排気圧力（吸入圧力） 大気圧 *
最大排気口圧力（排出圧力） 1Pa～大気圧
吸気口 * VG150
排気口 KF50
ドライポンプ表面処理 ○
メカニカルブースタポンプ表面処理 TR：×　TTR：○
質量 kg 720
電力 三相 VAC(Hz) 180～240/380～440（50/60）
電流値 定常時 A 35.4
最大値 A 82
冷却水一次圧力 MPa 0.2 to 0.5
冷却水出入口差圧 MPa ＞0.2
冷却水流量 L/min ＞4.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1 ～ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ～ 0.1
N2パージ 軸 SLM 5
ガスバラ SLM 0～45


⑱型名 UR3601-TT
使用ポンプ DRP UR421-T
MBP PRC-036C-T
最大排気速度 m3/h 50Hz 2700
60Hz 2700
L/min 50Hz 45000
60Hz 45000
到達圧力 Pa 0.67
最大排気圧力（吸入圧力） 大気圧 *
最大排気口圧力（排出圧力） 1Pa～大気圧
吸気口 * VG150
排気口 KF50
ドライポンプ表面処理 ○
メカニカルブースタポンプ表面処理 ○
質量 kg 720
電力 三相 VAC(Hz) 180～240/380～440（50/60）
電流値 定常時 A 39.8
最大値 A 68.3
冷却水一次圧力 MPa 0.2 to 0.5
冷却水出入口差圧 MPa ＞0.2
冷却水流量 L/min ＞5.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1 ～ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ～ 0.1
N2パージ 軸 SLM 5
ガスバラ SLM 0～195

取扱企業

• この企業の製品・サービス一覧を見る（ 41 件）
• 企業情報詳細ページ