めっき装置の製品一覧

銅配線などをめっきで成膜する装置。バンプ形成などにも使用される。

高スループット、高速めっきと優れた面内均一性の両立を実現しためっき装置

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SABRE-3D

Lam Research

定評あるラムリサーチのSABRE ElectrofillR 技術に加え、更なる技術革新をもって、WLPや TSV が必要とする高品質な膜と高い生産性を提供する。

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