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成膜装置の製品一覧

酸化膜、Polly-Si/Si、メタルなどの薄膜を形成する装置

レーザアニール装置。超低サーマルバジェット。サブマイクロ秒オーダーでウェーハ最表面のみのメルトアニールを実現。

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最先端デバイスの特性改善に大きく貢献するフラッシュランプアニール装置

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ウルトラシャロージャンクション形成を可能に

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原子拡散接合装置 BC7000(SEMICON Japan 2020 Virtual出展:新製品)
キヤノンアネルバ 株式会社

常温接合で未来を拓く!

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Atomfab(Oxford Instruments社製)(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
株式会社 アルバック

GaNパワーデバイス業界向けプラズマALD 量産対応ソリューション

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プラズマALD装置 AD-230LP(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
株式会社 サムコ

電子デバイスの絶縁膜、パッシベーション膜に

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FlexAL(Oxford Instruments社製)(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
株式会社 アルバック

リモートプラズマ原子層堆積(ALD)プロセスおよび熱ALDの両方を実現

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Atomic Premium
CN1 Co.,ltd.

シャワーヘッドタイプ・サーマル&プラズマ・エンハンスドALD

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Atomic-Mega
CN1 Co.,ltd.

縦型バッチ式ALD装置

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Atomic Classics
CN1 Co.,ltd.

サイドフロー・サーマルALD

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