成膜装置の製品一覧
EPIREVO S8
株式会社ニューフレアテクノロジー
200㎜枚葉式SiCエピタキシャル成長装置
Advanced TURUGI PLUS-Ⅲ
Kokusai Electric株式会社
次々世代デバイスに対して高難易度成膜と高生産性を両立するサーマルプロセス装置
Segul
株式会社アルバック
GaNスパッタリングモジュール
SWA90GDシリーズ
住友重機械工業株式会社
次世代パワーデバイス用レーザアニール装置
プラズマリフロー装置
神港精機株式会社
同社独自技術で開発
常温ウェーハ接合装置BOND MEISTER
日本電産マシンツール株式会社
接合プロセスに新たな地平を開く 常温ウェーハ接合装置
SABRE-3D
Lam Research
定評あるラムリサーチのSABRE ElectrofillR 技術に加え、更なる技術革新をもって、WLPや TSV が必要とする高品質な膜と高い生産性を提供する。
UFP600AS
株式会社荏原製作所
高スループット、高速めっきと優れた面内均一性の両立を実現しためっき装置
EL3400
キヤノンアネルバ株式会社
高密度実装向けスパッタリング装置
Sigma fxp PVD
SPST Technology
パワーデバイス、TSV,MEMSなどの形成に最適なスパッタリング装置
関連用語
関連特集
「成膜装置」の関連企業一覧
株式会社 荏原製作所
産業機械メーカである荏原は、Core Competenceを技術力と捉えています。製品のみならず、生産、品質管理や納入後の改造・メンテナンスまでのあら…
Kokusai Electric 株式会社
当社は、株式会社日立国際電気から独立して、新たにKKRファンドのもとで半導体製造装置事業の専門メーカーとして2018年6月1日より「株式会社KO…
キヤノンアネルバ 株式会社
キヤノンアネルバは超高真空技術を用いた高付加価値製品を提供することで、社会の発展に貢献してまいります。
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