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FlexAL(Oxford Instruments社製)

株式会社アルバック
最終更新日: 2024年05月31日

リモートプラズマ原子層堆積(ALD)プロセスおよび熱ALDの両方を実現

1台で柔軟にリモートプラズマと熱ALDが可能
クラスター化により、In-situ下の搬送が可能
C to Cにより、スループットを高め、生産に適応化
材料およびプリカーサーの選択ができるため、高い柔軟性
プラズマALDによる、低温プロセスが可能
リモートプラズマの活用により、低ダメージを維持
グラフィックユーザーインターフェイス(GUI)により全レシピを完全制御
最大200 mmのウェハーまで可能

基本情報

オックスフォード・インストゥルメンツのプロセスライブラリーでは広範囲にわたり、新しいプロセスが絶えず開発され、更新が続いています。ALD装置のライフタイム期間中は、継続的なプロセスサポートを無料にてご提供し、新材料の開発に関するアドバイス、および新しいプロセスレシピを含む当社の最新のALDプロセス開発へ継続的にアクセスできることを提供いたします。

プリカーサーボトルをグルーブボックスで – In-situ で交換可能

ポート – In-situ エリプソメントリー測定器の追加が可能

クラスター化 – 基板の真空中搬送

C to C ハンドリング – 生産に適したスループット増加

ロボットハンドルとカセットチャンバー – 100mm、150mm、200mm基板に対応(サイズ変更の際に工具は不要)

いずれの構成でも、クリーンルーム内に設置、または、パーテーションで仕切ることが可能 – 簡単に配置

200mm ロードロック式

お問い合わせ

取扱企業

株式会社アルバック

業種:繊維  所在地:神奈川県 茅ヶ崎市萩園 2500

イノベーションの創出で産業と科学の発展に貢献し、 豊かな未来を創造する

アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提供するユニークな企業グループです。
 変革の時代をチャンスととらえ、スピード感をもって様々な分野のニーズにグループ総合力とイノベーションでお応えし、産業と科学の発展に貢献することにより豊かな未来を創造していきたいと考えております。

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