EFEM/ソータの製品一覧

EFEM/ソータはカセット、Podなどウェーハの入った容器を受け取り、装置内部に受け渡すモジュール。

Freedomシリーズ
平田機工株式会社

実績多数 高スループットで微細化、N2パージ対応EFEM/ソータ

詳細を確認する

Vision LEAP Loadport
Brooks Automation Inc.

同社の最新ロードポート

詳細を確認する

高信頼性・高生産性のEFEM/ソータ―

詳細を確認する

「ACE」シリーズ
ローツェ株式会社

EFEM/ソーター

詳細を確認する

EFEM・ソータ

PHT株式会社

クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェーハを転送するウェハ自動搬送装置です。

詳細を確認する

FOUPロードポートTAS300

TDK株式会社

徹底したクリーン化性能、信頼性設計を実現したロードポー

詳細を確認する

SELOP-8

シンフォニアテクノロジー株式会社

1xnmプロセス対応のN2パージ機構搭載ロードポート

詳細を確認する

SOPHI-30

株式会社アルバック

低加速・高濃度対応のイオン注入装置(中電流イオン注入装置)

詳細を確認する
全 8 件中 1 ~ 8 件を表示中
表示件数: