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EFEM/ソータの製品一覧

EFEM/ソータはカセット、Podなどウェーハの入った容器を受け取り、装置内部に受け渡すモジュール。

SOPHI-30

株式会社アルバック

低加速・高濃度対応のイオン注入装置(中電流イオン注入装置)

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