EFEM/ソータの製品一覧
EFEM/ソータはカセット、Podなどウェーハの入った容器を受け取り、装置内部に受け渡すモジュール。
関連用語
関連特集
「EFEM/ソータ」に関連する用語が存在しません。
「EFEM/ソータ」の関連企業一覧
Brooks は、半導体製造、ライフ サイエンス、およびクリーン エネルギーなど、複数の市場に対応した自動化、真空、および計測ソリューションを提…
詳細を確認するキーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます