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搬送/ハンドリング装置の製品一覧

搬送システム:装置間、工程間をウェーハ、カセットを運ぶための装置、システム/ハンドリング装置:装置内でのウェーハの移動、装置へのウェーハへの導入を行うためのシステム

グリーンデバイス、MEMSデバイス向け i線ステッパー

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パワーデバイス、IoT関連デバイス向け、200mm以下の小型基板向け低NA i線ステッパー

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i線ステッパー 前工程向け 大画角・高解像力 i線ステッパー

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高生産性スキャナーミックスアンドマッチ対応 i線ステッパー

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最新技術を搭載した8、6、5インチのイオン注入装置

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高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。

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研究開発用中電流イオン注入装置

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Max2400KeVまで対応可能な高エネルギーのイオン注入装置

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低加速・高濃度対応のイオン注入装置(中電流イオン注入装置)

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