搬送/ハンドリング装置の製品一覧

搬送システム:装置間、工程間をウェーハ、カセットを運ぶための装置、システム/ハンドリング装置:装置内でのウェーハの移動、装置へのウェーハへの導入を行うためのシステム

EFEM・ソータ

PHT株式会社

クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェーハを転送するウェハ自動搬送装置です。

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枚葉式石英ガラスウェーハ移載装置

PHT株式会社

キャリア間の石英ガラスウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

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ウェーハ搬送装置

PHT株式会社

キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

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ウェーハカセットチェンジャー

PHT株式会社

キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

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ウェーハ搬送ロボット PHT-R-4

PHT株式会社

本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。

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移動コンテナ(タンク)からの粉体自動払出装置/ハンドル自動開閉器/ブリッジ除去機能付き

ナブテスコサービス株式会社

半導体材料や電池材料など、コンテナをコンベアやAMRなどで移動させた後、 中身を自動で払い出せます。 高所に人が登っての着脱作業が不要にな…

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NTH20

川崎重工業株式会社

5軸水平多関節ロボット

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SEMISTAR-GEKKO VD31HQF

株式会社安川電機

4軸水平多関節ダブルアームロボット

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SEMISTAR-GEKKO VD31HDA

株式会社安川電機

4軸水平多関節シングルアームロボッ

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Freedomシリーズ

平田機工株式会社

実績多数 高スループットで微細化、N2パージ対応EFEM/ソータ

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