搬送/ハンドリング装置の製品一覧

搬送システム:装置間、工程間をウェーハ、カセットを運ぶための装置、システム/ハンドリング装置:装置内でのウェーハの移動、装置へのウェーハへの導入を行うためのシステム

3軸円筒座標型クリーンロボット

PHT株式会社

ガラス基板対応

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3軸クリーンロボット

PHT株式会社

3軸 伸縮・旋回・上下 3軸クリーンロボット

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半導体、FPD装置向けFFU (Fan filter Unit)

株式会社世奉

創造的な考えと情熱、革新と挑戦でより良い未来を開きます。

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CanTops_Smart Factory 要素部品

株式会社世奉

”世界最高の技術力と製品でお客様にいつも最高で認められる企業に発展しよう。” Can(出来る)+Tops(第一人者、最高人)の合成語

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搬送キャリア

東洋精密工業株式会社

チップ搬送用のトレイ

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移動コンテナ(タンク)からの粉体自動払出装置/ハンドル自動開閉器/ブリッジ除去機能付き

ナブテスコサービス株式会社

半導体材料や電池材料など、コンテナをコンベアやAMRなどで移動させた後、 中身を自動で払い出せます。 高所に人が登っての着脱作業が不要にな…

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Vision LEAP Loadport

Brooks Automation Inc.

同社の最新ロードポート

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Spartan Sorter

Brooks Automation Inc.

高信頼性・高生産性のEFEM/ソータ―

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EFEM・ソータ

PHT株式会社

クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェーハを転送するウェハ自動搬送装置です。

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枚葉式石英ガラスウェーハ移載装置

PHT株式会社

キャリア間の石英ガラスウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

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