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Vision LEAP Loadport

Brooks Automation Inc.
最終更新日: 2024年05月30日

同社の最新ロードポート

超高クリーン性能、高い互換性、シームレスな交換性、さらに多様な構成への対応を可能にしている。

基本情報

・300mmSiウェーハのほか様々な基板に対応
・テープフレームのついたウェーハにも対応可能
・キネマティック・マウンティングシステムにより、高さとレベルの調整を一度に行うことができる
・オプションでN2パージに対応可能
・サーボ・モーション・コントロール機能を搭載
・MCGF(Mean Cycle Between Failure)50万回を達成

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取扱企業

Brooks Automation Inc.

業種:産業用機械 15 Elizabeth Drive,Chelmsford, M+1-978-262-2400A 01824 U.S.A. 

半導体などハイテク産業向け真空機器のトップメーカ

Brooks は、半導体製造、ライフ サイエンス、およびクリーン エネルギーなど、複数の市場に対応した自動化、真空、および計測ソリューションを提供する世界規模の大手プロバイダです。
 1978 年以降、Brooks は半導体製造装置関連のグローバルなサプライヤとなっています。クラス1レベルのクリーンルームで使用可能な半導体ウェーハハンドリングロボットをフルライン、柔軟なエンドエフェクタ、アライナと可搬重量に関して多彩なオプションを準備しています

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