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アライメント/貼り合わせ装置(真空)の製品一覧

フラットパネルを構成する基板間を正確に位置合わせして、貼り合わせる装置。

玉軸受タイプターボ分子ポンプ

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磁気軸受タイプのターボ分子ポンプ

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UTM-MIシリーズ

株式会社アルバック

磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。

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UTM-FH/FWシリーズ

株式会社アルバック

デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・…

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UTM70B

株式会社アルバック

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプ

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UTM300

株式会社アルバック

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。優れた高背圧特性により補…

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