アライメント/貼り合わせ装置(真空)の製品一覧

フラットパネルを構成する基板間を正確に位置合わせして、貼り合わせる装置。

EBT型

株式会社荏原製作所

玉軸受タイプターボ分子ポンプ

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EMT型

株式会社荏原製作所

磁気軸受タイプのターボ分子ポンプ

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