貼り合わせ／ギャップ形成の製品一覧

トランジスタアレイとカラーフィルタなどを貼り合わせる装置／貼り合わせる対象物の間に空間（ギャップ）を作るため装置

EV-S型

株式会社荏原製作所

EV-S型はロードロック室・SEM等軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションを対象とし、排気速度可変機能・通信機能等の付加価値…

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EV-M型

株式会社荏原製作所

EV-M型は、半導体・液晶・太陽電池セル製造工程の中で、反応副生成物が発生する高負荷プロセスに対応し、ダウンタイム抑制とランニングコスト低…

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ESA型

株式会社荏原製作所

ESA型は、MO-CVD等の大流量軽ガス排気性能及びLCDスパッタ装置・真空乾燥プロセス・大型ロードロック室等の高速排気性能に優れ、負荷に応じた回…

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ESR型

株式会社荏原製作所

ESR型は、ロードロック室・SEM等軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションを対象とし、排気速度可変機能・通信機能等の付加価…

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PDV型

株式会社荏原製作所

PDV型は、画期的な超軽量（20kg以下）、空冷、オイルフリー構造を持つユニークなドライ真空ポンプです。到達圧力0.5Pa以下を発揮しながら低振動…

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EST型

株式会社荏原製作所

EST型は、反応副生成物が形成されるCVD等向けにスクリュー形ロータを採用し、許容流入ガス量増大・耐食性能・排気速度可変機能・通信機能等の付…

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EBT型

株式会社荏原製作所

玉軸受タイプターボ分子ポンプ

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EMT型

株式会社荏原製作所

磁気軸受タイプのターボ分子ポンプ

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チラー（Chiller）

株式会社日立ハイテク

チラーは、冷媒サイクルにより温度調整した液体(熱媒体)を対象装置に循環・熱交換させることで、対象装置温度を一定に保つ装置です。半導体製造…

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株式会社 日立ハイテク


同社は「見る・測る・分析する」というコア技術をその時々の最先端分野の課題を解決できるレベルにまで引き上げ、半導体産業に貢献してきた。現…

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