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チラー(Chiller)

株式会社日立ハイテク
最終更新日: 2021年07月07日

チラーは、冷媒サイクルにより温度調整した液体(熱媒体)を対象装置に循環・熱交換させることで、対象装置温度を一定に保つ装置です。半導体製造装置のほかにさまざまな種類の産業機器、計測機器、食品加工機器、理化学機器等に用いられます。

冷媒は、オゾン層を破壊しないR-407C(HFC系)を採用しています。
故障時、メンテナンス時にはバックアップチラー切り替えにより、24時間365日の運転が可能です。

基本情報

使用温度範囲 +10~+25 [℃]
温度精度 <±0.05 [℃]
冷凍能力 28/30 [kW] (50/60Hz)
循環流量 110~240 [L/min]

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取扱企業

株式会社日立ハイテク

業種:繊維  所在地:東京都 港区虎ノ門虎ノ門ヒルズビジネスタワー9階 1-17-1 虎ノ門ヒルズビジネスタワー9階

「見る・測る・分析する」技術で産業界に貢献

同社は「見る・測る・分析する」というコア技術をその時々の最先端分野の課題を解決できるレベルにまで引き上げ、半導体産業に貢献してきた。現在は独自のプラズマ技術を応用したエッチング装置、微細パターンの検査に利用されるEB測長装置で世界的な実績を残している。

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