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コータ/デベロッパの製品一覧

レジスト、現像液を塗布する装置

毎時450枚以上のハイスループットを実現するデュアルトラックシステム

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高信頼性、高速300mmウェーハ対応コータ・デベロッパ

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多様な基板へフレキシブルに対応するコータ・デベロッパ

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凹凸のある立体構造に対して最適かつフレキシブルに塗布するコータ・デベロッパ

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CLEAN TRACK LITHIUS Pro Z
東京エレクトロン株式会社

EUVなど最新リソグラフィ技術対応300mmウェーハプロセス用レジスト塗布現像装置

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