コータ／デベロッパの製品一覧

レジスト、現像液を塗布する装置

DT-3000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

毎時450枚以上のハイスループットを実現するデュアルトラックシステム

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RF310A

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

高信頼性、高速300mmウェーハ対応コータ・デベロッパ

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SK-60EX/80EX

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

多様な基板へフレキシブルに対応するコータ・デベロッパ

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SC-80EX

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

凹凸のある立体構造に対して最適かつフレキシブルに塗布するコータ・デベロッパ

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株式会社 SCREENセミコンダクターソリューションズ


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