半導体用語集
スピンコータ
英語表記：spin coater
水平にしたウェーハ上にレジストを滴下しウェーハを回転させることにより、ウェーハ上に均一なレジスト膜を形成させる装置。レジスト供給系、スピンモータ、カップの組合せにより構成される。回転数は、毎分数千回転まで可能。
関連製品
加熱型スピンコーター
株式会社イーエッチシー
試料台の加熱機能があるスピンコーターです。
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