半導体用語集

スピンコータ

英語表記：spin coater

水平にしたウェーハ上にレジストを滴下しウェーハを回転させることにより、ウェーハ上に均一なレジスト膜を形成させる装置。レジスト供給系、スピンモータ、カップの組合せにより構成される。回転数は、毎分数千回転まで可能。

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