半導体用語集
スピンモータ回転数
英語表記：rotation speed
スピンコータ、スピンディベロッパーにおいてウェーハを回転させるモータの回転数を指し、一般に「rpm」（または、「rad/s」）で表される。スピンコート時のレジスト膜厚は回転数に依存するため回転数の安定が膜厚の均一性、再現性に重要となる。
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