カテゴリー
- 真空バルブ(ゲートバルブ、ベンドロールバルブ)
- オーリング
- シール/フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ(リニアモータ)
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対/パイロメータ
- サセプタ
- センサ(温度、湿度、圧力、流量など)
- 各種保護材料(消耗材料)
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン(半導体グレード)
- SASU(半導体グレード)
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC(国内供給)
- 制御用パソコン(国内)
- モータ/サーボモータ
- RF電源/その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
- エンドポイントモニタ
- ケーブル/光ファイバ
- 真空バルブ
- オーリング
- 真空シール/フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ(リニアモータ)
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対/パイロメータ
- センサ(温度、湿度、圧力、流量など)
- 各種保護材料(消耗材料)
- ヒータ(蒸着装置向け)
- サセプタ(半導体にも追加)
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ/ディスペンサ
- ノズル(スプレーノズル、スリットノズルなどを含む)
- インクジェットヘッド(ノズル)
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン(半導体グレード)
- SUS(半導体グレード)
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC(国内供給)
- 制御用パソコン(国内)
- モータ/サーボモータ
- RF電源/その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト/現像液
- KrFレジスト/現像液
- ArFレジスト/現像液
- ArF液浸レジスト/現像液
- EUVレジスト/現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他)
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート(パッケージ基板)/インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング/ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板(液晶)
- ガラス基板(OLED用)
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材(カラーレジスト/顔料)、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料(SiO2):CVDガス材料、ポリイミド(樹脂)
- 液晶材料
- スペーサ材料(シリコン球)
- シール(封止)材(接着剤)/メインシール材/仮接着剤
- 液晶注入口封止材(紫外線硬化樹脂材料)
- 偏光フィルム
- 基板(仮配置基板)
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材(有機膜)
- 正孔輸送層材(有機膜)
- 電子注入層材料(有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料(有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料(蒸着用)
- 蒸着材料
SK-60EX/80EX
多様な基板へフレキシブルに対応するコータ・デベロッパ
60/80EXは、多様化する電子デバイス製造ニーズに応えるため、対応アプリケーションと機能を充実させました。また、基本システムの性能の向上を図り、将来にわたって安心してご使用いただける装置となっています。
1. ロングセラー 60/80シリーズの高い実績と信頼性を継承
60/80EXでは、多くの実績を持つ60/80シリーズで裏付けられた「高信頼性への設計思想」を継承。ご利用いただく環境に対し柔軟かつ安定した性能を提供します。また、これまでの60/80シリーズで培った技術の踏襲と、その機能アップを図り、先端分野や特殊用途向け機能についても対応します。
2. 将来の拡張性にも安心して対応できる制御システムへの刷新
常に進化を続ける60/80シリーズ。将来にわたり安心してご使用いただけるように、制御システムを刷新しました。このシステム強化により、進化し続ける電子デバイス製造の中で求められる新たなニーズに対し、柔軟かつ迅速な対応が可能です。
3. 60/80シリーズとの基本互換性を維持
操作環境および画面構成を拡張しつつ、レシピ作成の基本思想は共通化しており、すでに60/80シリーズの操作に慣れた方々にも優しい環境をご提供します。
また、60/80シリーズとプロセスレシピデータの互換性を維持しており、60/80EXへの良好な移植性を確保。スムーズな増設計画に対応します。
4. 多様な基板へのフレキシブルな対応
薄ウェーハ、厚基板、アルチック・フェライト系磁性材料基板、ガラス基板、LT基板、サファイア基板、両面パターン付基板など、基板特性を考慮し、最適化されたさまざまな選択オプションを用意。その組み合わせから、多種・多様な基板に対応します。
5. 先端技術開発で培った機能対応
多様化する電子デバイス開発の中で、先端プロセス機能が求められる場合、さまざまな選択オプションのご提供とともに、そのプロセス実現に向けて各種サポートを行います。
基本情報
◎ウェーハサイズ φ50mm~φ200mm
取扱企業
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
業種:産業用機械 所在地:京都府 京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目 天神北町1-1
半導体製造用洗浄装置のトップメーカー
SCREENセミコンダクターソリューションズは、
エッチング、フォトリソグラフィ、画像処理を技術のコアとし、半導体洗浄プロセスにおいて世界のトップメーカとなっている。最先端デバイス向けの高機能・高生産性装置から、200mm以下のさまざまなサイズ・形状の基板に対応できる製品まで、幅広い装置ラインナップをそろえている
SK-60EX/80EX へのお問い合わせ
お問い合わせいただくにはログインいただき、プロフィール情報を入力していただく必要があります。
※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先(所属名、部署名、業種、名前、電話番号、郵便番号、住所、メールアドレス)が通知されます。
SK-60EX/80EX