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光学式微小寸法測定装置の製品一覧

顕微鏡やUV散乱光などを利用した微細な寸法を測定する装置

CENTRIS SYM3エッチング装置
Applied Materials,Inc

1x/10nmノード以降の大量生産用の重要なエッチングアプリケーションにおいて、世界トップクラスのウェーハ間の均一性を前例のないチップ内図形制…

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FOUP/FOSB寸法測定装置

株式会社清和光学製作所

FOSB寸法測定装置 ”セルフィ―”発売

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NE-5700/NE-7800

株式会社アルバック

量産用ドライエッチング装置

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