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Si深堀の製品一覧

Si/SiO2などに深いホールを形成するための装置

Primo TSV

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

高性能、高生産性のディープシリコンエッチング製品

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Si Deep RIE System(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)

SPPテクノロジーズ 株式会社

シリコン深掘り装置 

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