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マスク/レチクル・リペア装置の製品一覧

マスク(レチクル)の欠陥をレーザを利用して修正する装置

アクティブ除振ユニット【空圧制御】A type

倉敷化工株式会社

アクティブ制御とジンバルピストン機構により全周波数帯での優れた除振性能を発揮します。

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E-600/8000シリーズ

株式会社日立ハイテク

不揮発性材料エッチング装置

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E-6000シリーズ

株式会社日立ハイテク

磁気ヘッド用材料エッチング装置

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