カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
- オーリング
- シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
- エンドポイントモニタ
- ケーブル／光ファイバ
- 真空バルブ
- オーリング
- 真空シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ／ディスペンサ
- ノズル（スプレーノズル、スリットノズルなどを含む）
- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
アクティブ除振ユニット【空圧制御】A type
アクティブ制御とジンバルピストン機構により全周波数帯での優れた除振性能を発揮します。
低荷重用 除振重視タイプ
垂直方向及び水平方向の空気ばねにジンバルピストンを組み込み、それぞれの空気ばねをサーボ弁にてアクティブ制御しています。
基本情報
除振性能
除振は装置もしくは定盤の振動を加速度センサで検出して制御するフィードバックと、床の振動を検出し制御するフィードフォワードに分かれます。倉敷化工は両方を標準で装備しています。
制振性能
制振もフィードバックとフィードフォワードに大別されます。フィードバックは変位センサにより変位を制御します。フィードフォワードは繰り返す外乱に効果があるFFKEAP制御とランダムな外乱に効果があるMFF（モーションフィードフォワード）に分けられます。フィードフォワードはオプション対応です。
非連成制御
センサからの入力信号を無駄なく効果的に4脚に分配する制御です。
| 価格帯 | 仕様確定後、別途価格回答させて頂きます。 |
|---|---|
| 納期 | 仕様確定後、別途納期回答させて頂きます。 |
カタログ
取扱企業
倉敷化工株式会社
業種：機械要素・部品 所在地：岡山県 倉敷市連島町矢柄四の町 4630
振動制御技術で人々の暮らしに快適な空間をお届けします。
わたしたち倉敷化工は、創業以来、
「振動制御技術で人々の暮らしに快適な空間をお届けする」
という使命感のもと、自動車部品・産業機器製品を製造してまいりました。
いまでは、国内では倉敷本社および関連子会社3社、海外ではタイ、中国、メキシコ、韓国にグローバル拠点を有し、発展し続けています。
今後、さらなる社会への貢献をめざして、振動制御技術の飛躍的進化とわたしたちの企業価値観である
「誠実に、たのしく、一丸となって、よりよく」
を基盤に日々努力を積み重ねていきます。
地域そしてグローバル拠点のみなさまに支えられていることに感謝の気持ちを忘れず、社会の輝ける未来のために貢献し続けてまいります。
アクティブ除振ユニット【空圧制御】A type へのお問い合わせ
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アクティブ除振ユニット【空圧制御】A type
