マスフローコントローラの製品一覧
流体の質量流量を計測することにより流量制御を行い、高精度で安定した流体計測・制御を可能にする機器
サーマルフロースプリッタ FS-3000 Series
半導体、ディスプレイ、太陽電池などの製造プロセスにて、チャンバに導入するプロセスガスを、任意の比率に分配するフロースプリッタです。
詳細を確認する
超薄型マスフローモジュール CRITERION DZ-100 Series
差圧検出方式を採用した10mm幅の最先端プロセス向け高性能マスフロー モジュールです。±0.5% S.P. の高精度と応答速度0.4秒以内を実現していま…
詳細を確認する
関連用語
関連特集
「マスフローコントローラ」の関連企業一覧
キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
