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マスフローコントローラの製品一覧

流体の質量流量を計測することにより流量制御を行い、高精度で安定した流体計測・制御を可能にする機器

サーマルフロースプリッタ FS-3000 Series
株式会社 堀場エステック

半導体、ディスプレイ、太陽電池などの製造プロセスにて、チャンバに導入するプロセスガスを、任意の比率に分配するフロースプリッタです。

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超薄型マスフローモジュール CRITERION DZ-100 Series
株式会社 堀場エステック

差圧検出方式を採用した10mm幅の最先端プロセス向け高性能マスフロー モジュールです。±0.5% S.P. の高精度と応答速度0.4秒以内を実現していま…

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差圧検出方式を採用した最先端プロセス向け高性能マスフローモジュール

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信頼性のあるサーマル方式の流量センサーを搭載したマスフローモジュール

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ユーザーサイドでガス種・流量レンジの変更ができるマルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル…

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SEC-8000F/D/Eシリーズ
株式会社 堀場エステック

高温環境(120℃)までの環境で使用できる高温対応デジタルマスフローコントローラです。

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汎用モデルデジタルマスフローコントローラ

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