マスフローコントローラの製品一覧
サーマルフロースプリッタ FS-3000 Series
株式会社堀場エステック
半導体、ディスプレイ、太陽電池などの製造プロセスにて、チャンバに導入するプロセスガスを、任意の比率に分配するフロースプリッタです。
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超薄型マスフローモジュール CRITERION DZ-100 Series
株式会社堀場エステック
差圧検出方式を採用した10mm幅の最先端プロセス向け高性能マスフロー モジュールです。±0.5% S.P. の高精度と応答速度0.4秒以内を実現していま…
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SEC-Z500Xシリーズ
株式会社堀場エステック
ユーザーサイドでガス種・流量レンジの変更ができるマルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル…
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