半導体用語集
集積ガスユニット
英語表記：integrated gas unit
ガス供給系を構成する機能の異なる部品、例えばエアバルブとマスフローコントローラなどを配管を使わずに部品同士で接続可能な溶接レスのガスユニット。ガス供給系のコンパクト化とガス流路のデッドスペースの削減が可能。
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