半導体用語集
ガス希釈器
英語表記：gas dilution system
特殊材料ガスを、キャリヤガスで連続して一定の濃度に希釈させる装置。マスフローコントローラと集積化バルブを利用することにより、100％のガスを1ppmまで希釈する精密ガス希釈装置も開発されている。
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