半導体用語集
オールメタル製ガス供給システム
英語表記：all metal gas supplying system
接ガス面からプラスチック材料を一掃し、かつ接ガス面を加工変質層のない鏡面に仕上げた部品より構成されたガス供給系。従来問題となっていた、プラスチック材料からの水分、有機成分を中心とするアウトガス汚染を防止することが可能である。ガスの流路部より樹脂材料を一掃したバルブ、レギュレータ、マスフローコントローラ、フィルタなどのオールメタル製部品により構成される。
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