2020年市場は急拡大:電源の市場/企業動向

1.RF電源市場:2020年には前年比51%増

 半導体製造装置にはDC電源、RF電源など各種の電源が搭載されている。成膜装置やエッチング装置ではプラズマの発生などの用途でRF電源が使用されている。半導体製造プロセスにおいて、精密な加工を実現するためには、プロセスチャンバ内で起こる現象に合わせて電源を精細に制御していく必要がある。また、安定したプロセスを再現できるようにしなければない。このため、電源にも高精度化、信頼性の向上、耐久性の向上が進められている。
 電源市場は、CVD装置、ドライエッチング装置などの製造装置の需要に連動している。本稿ではRF電源でその動きを見ていく。
 RF電源の世界市場は、2017年に547億円と500億円を突破。さらに半導体製造装置の市場の拡大に伴い、2018年には前年比17.8%増の645億円となった。しかし製造装置需要が急落した2019年には前年比24.3%減の488億円に低下した。
 2019年第4四半期から半導体製造装置に連動して、RF電源でも市場回復が進んだ。2020年も成長を続けたが、自動車向けの半導体需要が急成長している2020年第4四半期からは成長を加速させている。その結果、2020年には前年比51%増の737億円にまで拡大したものと見込まれる。2021年も同15%増の848億円にまで拡大すると予想している。

出所:世界半導体製造装置・試験/検査装置市場年鑑2020より編集

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