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液浸ArF装置の製品一覧

波長156nmのArFエキシマレーザを光源とし、対物レンズとウェーハの間に水を置くことでNAを高め、解像度を高めた露光装置

Litho Booster(SEMICON Japan 2020 Virtual 出展)
ニコン株式会社

露光前の全ウェーハでグリッド歪みを高速計測。フィードフォワードで高精度な重ね補正を実現する高機能アライメントステーション

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NSR-S635(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
ニコン株式会社

業界最高水準の5nmプロセス量産用ArF液浸スキャナー

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