液浸ArF装置の製品一覧

波長156nmのArFエキシマレーザを光源とし、対物レンズとウェーハの間に水を置くことでNAを高め、解像度を高めた露光装置

GT66A

ギガフォトン株式会社

さらなるテクノロジーの要求に応えるArF液浸露光光源

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