SEM式微小寸法測定装置の製品一覧
走査型電子顕微鏡（SEM）を利用して、回路パターンなどの微細な寸法を測る装置
M-600/6000シリーズ（SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
コンダクターエッチング装置 M-600/6000シリーズは、デジタルモバイル機器、白物家電製品、自動車、鉄道などに用いられるパワー半導体のシリコ…
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CENTRIS SYM3エッチング装置
1x/10nmノード以降の大量生産用の重要なエッチングアプリケーションにおいて、世界トップクラスのウェーハ間の均一性を前例のないチップ内図形制…
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