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SEM式微小寸法測定装置の製品一覧

走査型電子顕微鏡(SEM)を利用して、回路パターンなどの微細な寸法を測る装置

M-600/6000シリーズ(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
株式会社 日立ハイテク

コンダクターエッチング装置 M-600/6000シリーズは、デジタルモバイル機器、白物家電製品、自動車、鉄道などに用いられるパワー半導体のシリコ…

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E-600/8000シリーズ
株式会社 日立ハイテク

不揮発性材料エッチング装置

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コンダクターエッチング装置 M-8000シリーズは、32nm世代以降のハードマスク、シリコン加工に対応したエッチング装置です。

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次世代デバイスプロセスに対応するため、コンダクターエッチング装置 9000シリーズでは、インターフェースを統一し、高精度にモジュール化した…

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量産用ドライエッチング装置

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