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工程間/装置間搬送装置の製品一覧

ウェ-ハあるいはウェーハを搭載した容器を、各工程エリア、装置に運ぶためのシステム。

自動式クリーンオーブン

大村技研株式会社

ウエハキャリア乾燥

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SOPHI-200/260

株式会社アルバック

最新技術を搭載した8、6、5インチのイオン注入装置

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IMX-3500

株式会社アルバック

研究開発用中電流イオン注入装置

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