工程間/装置間搬送装置の製品一覧

ウェ-ハあるいはウェーハを搭載した容器を、各工程エリア、装置に運ぶためのシステム。

枚葉式石英ガラスウェーハ移載装置

PHT株式会社

キャリア間の石英ガラスウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

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ウェーハ搬送装置

PHT株式会社

キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

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ウェーハカセットチェンジャー

PHT株式会社

キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

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移動コンテナ(タンク)からの粉体自動払出装置/ハンドル自動開閉器/ブリッジ除去機能付き

ナブテスコサービス株式会社

半導体材料や電池材料など、コンテナをコンベアやAMRなどで移動させた後、 中身を自動で払い出せます。 高所に人が登っての着脱作業が不要にな…

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SRCシリーズ

村田機械株式会社

高速、高信頼性OHT

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クリーンウェイ

株式会社ダイフク

実績No.IのOHT

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自動式クリーンオーブン

大村技研株式会社

ウエハキャリア乾燥

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SOPHI-200/260

株式会社アルバック

最新技術を搭載した8、6、5インチのイオン注入装置

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IMX-3500

株式会社アルバック

研究開発用中電流イオン注入装置

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