工程間／装置間搬送装置の製品一覧
ウェ－ハあるいはウェーハを搭載した容器を、各工程エリア、装置に運ぶためのシステム。
移動コンテナ（タンク）からの粉体自動払出装置/ハンドル自動開閉器/ブリッジ除去機能付き
半導体材料や電池材料など、コンテナをコンベアやAMRなどで移動させた後、 中身を自動で払い出せます。 高所に人が登っての着脱作業が不要にな…
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