半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

SiC・GaN向けウェーハ枚葉式自動洗浄装置

PHT株式会社

・次世代材料に応える、高クリーン・低ダメージ洗浄 ・SiC・GaN洗浄のために磨き上げた、枚葉式クリーナ ・高クリーン度とプロセス安定性を両…

SiC・GaN向けウェーハ枚葉式自動洗浄装置

PHT株式会社

・次世代材料に応える、高クリーン・低ダメージ洗浄 ・SiC・GaN洗浄のために磨き上げた、枚葉式クリーナ ・高クリーン度とプロセス安定性を両…

SiC・GaN向けウェーハ枚葉式自動洗浄装置

PHT株式会社

・次世代材料に応える、高クリーン・低ダメージ洗浄 ・SiC・GaN洗浄のために磨き上げた、枚葉式クリーナ ・高クリーン度とプロセス安定性を両…

3軸円筒座標型クリーンロボット

PHT株式会社

ガラス基板対応

3軸クリーンロボット

PHT株式会社

3軸 伸縮・旋回・上下　3軸クリーンロボット

キャリア基板受入れ洗浄装置 PWG-2501

PHT株式会社

次世代半導体向けの最先端チップレットパッケージ技術が開発されており、ガラス基板はパッケージ用キャリア基板としての適用が想定されています…

ウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）

PHT株式会社

PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置

PHT株式会社

ワイヤーソー後洗浄・ラップ後洗浄・アルカリエッチング洗浄・熱処理前洗浄・熱処理後洗浄・研磨後洗浄・FINAL洗浄に対応します。

EFEM・ソータ

PHT株式会社

クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェーハを転送するウェハ自動搬送装置です。

枚葉式石英ガラスウェーハ移載装置

PHT株式会社

キャリア間の石英ガラスウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置