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ウェーハ自動剥離装置

PHT株式会社
最終更新日: 2024年03月18日
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PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

ワイヤーソー (スライス) 後のウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）です。プレート治具に接着されたインゴットを投入側にセットすることで、粗洗浄～ウェーハ剥離～ウェーハ枚葉洗浄～乾燥～カセット収納までを全自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンローダ側に排出されます。
剥離は、熱風加熱方式で、1枚ごとに行います。剥離後のウェーハは、枚葉式の洗浄です。2流体高圧洗浄～スクラブ洗浄～リンス洗浄～吸水ローラ乾燥～スリットノズル乾燥後、水平多関節ロボットでアンローダ部のカセットに1枚毎に収納します。収納は、カセット (25枚入) の上段～又は下段からの選択ができます。収納カセットは、最大6個です。OHT搬送に対応しております。

基本情報

■特徴
・独自の制御によるスライド機構。
・困難だったウェーハー剥離後の洗浄を自動化。
・ワイヤーソーで切断したウェーハをビームから剥離後に枚葉で洗浄し、カセットに収納するまでを全自動でおこないます。
・低ランニングコストを実現。
・ご使用のインゴットリフターに合わせた設計可能。
・オプションにより、ローダーIDリーダー追加可能。
・オプションにより、アンローダーキャリア部にRFID機能追加可能。

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ウェーハ自動剝離装置
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取扱企業

PHT株式会社

業種：産業用機械  所在地：東京都 北区赤羽2丁目 第69号2号

半導体搬送システムや半導体洗浄装置などの専門メーカー

PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。

特徴
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

PHTはこれまでシリコンウェーハの搬送やレーザ加工技術を活用して次世代SiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）材料をはじめ、化合物半導体向け搬送及び洗浄ソリューション（ロボット・搬送「搬送装置あるいは移載装置、EFEM、SORTER」・自動剥離洗浄装置・洗浄装置）を提案し、特にパワー半導体市場へ積極的にアプローチをしております。当社は、省エネ向け（電気自動車、電力制御）の半導体製造装置へ総合ソリューションの提供体制を創出しています。

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