ストッカの製品一覧

ライン内、工程内に運ぶウェーハ（カセット・Pod）を一時的に保管しておく設備。

TS-3000

村田機械株式会社

製品前ストッカ

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パージSTK

村田機械株式会社

N２パージストッカ

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CDWX

村田機械株式会社

ベアウェーハを清浄度を保ちながら保管するストッカ

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