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ストッカの製品一覧

ライン内、工程内に運ぶウェーハ(カセット・Pod)を一時的に保管しておく設備。

グリーンデバイス、MEMSデバイス向け i線ステッパー

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パワーデバイス、IoT関連デバイス向け、200mm以下の小型基板向け低NA i線ステッパー

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i線ステッパー 前工程向け 大画角・高解像力 i線ステッパー

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高生産性スキャナーミックスアンドマッチ対応 i線ステッパー

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