ストッカの製品一覧

ライン内、工程内に運ぶウェーハ（カセット・Pod）を一時的に保管しておく設備。

FPA-3030i5+
キヤノン株式会社

グリーンデバイス、MEMSデバイス向け i線ステッパー

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FPA-3030iWa
キヤノン株式会社

パワーデバイス、IoT関連デバイス向け、200mm以下の小型基板向け低NA i線ステッパー

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FPA-5510iX
キヤノン株式会社

i線ステッパー 前工程向け 大画角・高解像力 i線ステッパー

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FPA-5550iZ2
キヤノン株式会社

高生産性スキャナーミックスアンドマッチ対応 i線ステッパー

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TS-3000

村田機械株式会社

製品前ストッカ

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パージSTK

村田機械株式会社

N２パージストッカ

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CDWX

村田機械株式会社

ベアウェーハを清浄度を保ちながら保管するストッカ

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