ストッカの製品一覧

ライン内、工程内に運ぶウェーハ(カセット・Pod)を一時的に保管しておく設備。

パージSTK

村田機械株式会社

N2パージストッカ

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CDWX

村田機械株式会社

ベアウェーハを清浄度を保ちながら保管するストッカ

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