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パージSTK

村田機械株式会社
最終更新日: 2023年08月25日

N２パージストッカ

プロセスの微細化に伴いプロセス工程間の時間管理が必要となり、酸化及び水分や周囲の雰囲気による品質影響対策が必要とされる中、既設ストッカーへの容易なレトロフィットとしてウェーハN2パージを可能にする。N2パージでプロセス工程間の時間制限を緩和、歩留低下を防止する。

基本情報

・薄型パージユニットにより棚ピッチを維持。（高効率収納）
・レシピ指示による流量コントロール。（リモート設定可能）
・プレパージ機能により品質を維持。
・内製ノズルにより高効率パージを実現。（パージ効率90％以上）

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取扱企業

村田機械株式会社

業種：産業用機械  所在地：京都府 京都市伏見区竹田向代町 136

保管・自動搬送システムの技術力により、製造プロセスの効率化に寄与する半導体工場のウェーハ搬送ソリューションをトータルで提供

半導体工場の搬送システムはクリーンFA事業部門が担当。半導体製造工程における、保管・搬送システムのハードウエア・ソフトウエアの開発・設計から、製造・据付・アフターサービスまで、一貫して提供し、お客様をトータルにサポートする。OHT、OHS、AGV、ストッカ、装置前ストッカなどを提供している。

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