真空バルブ(ゲートバルブ、ベンドロールバルブ)の製品一覧

排気系とチャンバの間に置かれ、空間や気体成分を遮断したり開放する動作を正確に制御するために使用される。

VZθアクチュエータ

ケーエスエス株式会社

ミニチュアボールねじスプライン(BSSP)を応用し、直動(Z)、回転(θ)、吸着(V)の3つの機能を1つの製品で実現したユニット製品

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ミニチュアボールねじスプライン BSSP

ケーエスエス株式会社

1つの製品で直動(Z)、回転(θ)、吸着(V)が可能な複合製品

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