カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
- オーリング
- シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
- エンドポイントモニタ
- ケーブル／光ファイバ
- 真空バルブ
- オーリング
- 真空シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ／ディスペンサ
- ノズル（スプレーノズル、スリットノズルなどを含む）
- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
VZθアクチュエータ
ミニチュアボールねじスプライン(BSSP)を応用し、直動(Z)、回転(θ)、吸着(V)の3つの機能を1つの製品で実現したユニット製品
本製品は、ミニチュアボールねじスプライン(BSSP)とステッピングモータを組み合わせたアクチュエータ。直動(Z)・回転(θ)、吸着(V)を1ユニットで実現。用途や設置スペースに合わせて3種類から選択できる。
基本情報
「ダイレクトドライブタイプ」は中空モータにミニチュアボールねじスプライン(BSSP)を組み込むことでスリムなボディを実現。ダイレクトドライブのため摩耗粉を抑制。部品点数を最小限とし、シンプル構造、省スペースを実現直動(Z)、回転(θ)のほか中空穴による吸着(Vacuum)も行える。「ハイブリッドドライブタイプ」は、直動(Z)、回転(θ)および吸着(Vaccum)の動作が可能な複合機能型。中空モータと中実モータの組み合わせにより長手方向をコンパクト化し、ダイレクトドライブタイプよりロングストローク化が可能となる。「ベルトドライブタイプ」は直動(Z)、回転(θ)、吸着(Vaccum)機能を保有し、かつコンパクト設計。BSSP(φ4)搭載可能でシリーズ中で最少、最軽量。仕様に合わせて外付けモータの選択が可能。
取扱企業
ケーエスエス株式会社
業種：機械要素・部品 所在地：東京都 大田区矢口 1-22-14
ミニチュアボールねじ、アクチュエータメーカー
小型化するなら、ケーエスエス。
弊社はミニチュアボールねじを専門に製造するメーカです。シャフト軸外径がφ16mm以下のボールねじを専門に、世界最小径のボールねじ軸径φ1.8mm、ﾘｰﾄﾞ0.5mmの製作が可能です。
特に高精度が要求される、ステージや位置決め用途に採用されています。
近年では、ボールねじの小型化のみでなく、機能の複合化やユニット化により、装置の自動化や省スペース化に貢献する製品を提供しています。
VZθアクチュエータ へのお問い合わせ
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VZθアクチュエータ
