ドライポンプの製品一覧

油や液体を真空室内に使用しない機械式の真空ポンプ。クリーンな真空が得られる。

LR/HR/UR シリーズ

株式会社アルバック

ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、エッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現し…

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CRシリーズVerB

株式会社アルバック

ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格（CE,cTUVus）を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。排気室内には油を使用しておらず、…

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