半導体用語集

ドライポンプ

英語表記：dry vacuum pump

ターボ分子ポンプやクライオポンプの粗引き真空ポンプとして用いられ、ガス通路に油が混入しないオイルフリーのポンプ。通常、大気圧から10-3Paまで減圧できる。


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