半導体用語集
生産用真空設備
英語表記：process vacuum system
油回転ポンプ、ドライポンプなどの真空ポンプ、真空タンクおよび配管設備から構成され、真空ピンセット、製造装置などに低真空を供給する設備。薄膜形成、エッチング工程などに必要な高真空は、製造装置単独に設けられる分子ポンプ、クライオポンプなどで供給される。
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