真空ポンプ／排ガス処理装置

掲載日 2020/10/22

1.真空ポンプの市場動向

真空ポンプは、ドライポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオポンプなどがある。半導体の微細化に対応して、製造装置にも一層の高性能化が求められており、各種の真空ポンプでも高性能化が進められている。
　また、各種の真空ポンプを組み合わせて使用されている。エッチング装置では高真空領域を作れるターボ分子ポンプとドライポンプが採用されたり、CVDなどでもターボ分子ポンプが採用されるようになっている。クライオポンプは超高真空化が可能であり、スパッタリング装置やイオン注入装置で採用されている。
　真空ポンプは製造装置に組み込まれて使用されるため、その市場は製造装置市場に連動している。2017年には前年比114.7％増、2018年には同26.6％増の2,383億円と2,000億円台を突破した。2019年は前年比減となったが、同年後半から回復に転じ、2020年には前年比12.4％増が見込まれている。
　真空ポンプには多くの企業が参入している。各ポンプで、スウェーデンAtlas Copco社が、大きなシェアを持つ。同社は傘下にEdwards Vacuum社を持ち、同社が米Brooks Automation社の極低温事業を買収したことで、ドライポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオポンプをラインナップしている。

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