ArF装置(ドライ)の製品一覧

波長156nmのArFエキシマレーザを光源とする露光装置

重ね合わせ精度と生産性をさらに向上させたArFスキャナー

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ステッパ「600シリーズ」

Shanghai Micro Electronics Equipment(SMEE) 

i線~ArFまで対応する1:4スキャナ

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