Shanghai Micro Electronics Equipment(SMEE) の製品一覧
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Shanghai Micro Electronics Equipment(SMEE)
ASMLの露光装置を代替できる装置の開発を目標に国の支援を受けて開発を進めている。2016年にはi線ステッパを製品化、2018年ｍ90nmレベルのスキャ…
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