Shanghai Micro Electronics Equipment(SMEE)
業種：産業用機械 所在地：中国 No.1525 Zhangdong Road Zhangjiang Hi-Tech Park Shanghai China
中国の最先端リソグラフィメーカー
ASMLの露光装置を代替できる装置の開発を目標に国の支援を受けて開発を進めている。2016年にはi線ステッパを製品化、2018年ｍ90nmレベルのスキャナ開発プロジェクトに参加。ArF液浸システムを開発している。SMICなどで量産評価が進んでいる。また開発レベルでは、7nmクラスのパターンニングにも成功している。
ASMLの代替需要を目指す。
| 企業名 | Shanghai Micro Electronics Equipment(SMEE) |
|---|---|
| 事業所 | 本社 |
| 本社所在地 | 中国 |
| 住所 | No.1525 Zhangdong Road Zhangjiang Hi-Tech Park Shanghai China |
| 地図 | |
| 電話番号 | 862151315131 |
| FAX番号 | |
| 業種 | 産業用機械 |
| 事業内容 | 半導体製造用露光装置の開発、製造、販売 |
| 事業拠点 | 本社 |
| 設立年 | |
| 資本金 | |
| 従業員数 | 1~99人 |
| 売上高 | 人民元 600,000,000 |
| 画像 |
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